Нанорельефные подложки лейкосапфира, Арсен Муслимов, Виктор Асадчиков und Владимир Каневский

“Борьба за размер”, которая определяет магистральное направление развития современной науки и техники требует разработок технологий манипуляции поверхностью на наноуровне. Лишь ценой значительных усилий сегодня удается создавать элементы интегральных схем субмикронных размеров. Одним из решений проблемы может служить использование лейкосапфировых подложек-платформ с регулярным нанорельефом. Нами развита технология создания пластин лейкосапфира с террасно-ступенчатым рельефом поверхности (ширина террас 40-500 нм, высотой ступеней 0,22-3 нм). Наноразмерный рельеф подложки можно использовать как эффективный шаблон для самоорганизации металлических нанокластеров, полимеров, белков, молекул ДНК, моно- и мультимолекулярных пленок. Модификация метода наноканальной эпитаксия с использованием рельефных подложек перспективна для получения бездислокационных пленок нитридных соединей. На сегодняшний день экспериментально показана возможность получения на таких диэлектрических подложках...